红外探测器PT薄膜的实验研究

doi:10.11835/j.issn.1674-4764.1994.03.002

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红外探测器PT薄膜的实验研究
DOI:
                        10.11835/j.issn.1674-4764.1994.03.002
                    
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中图分类号:TB43
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TNE EXPERIMBNT RESEARCH OF PT THIN FILM USED IN INFRARED DETECTOR

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对用于红外探测器和光声电子器件的ＰＴ薄膜的制备工艺及热处理过程进行了实验研究，对多离子束反应共溅射法制备薄膜，作了相应的ｘ衍射、ＸＰＳ能谱及ＥＰＭＡ分析。通过实验，成功地除去了薄膜中ＰｂＯ和焦绿石杂质，并改善了ＰｂＴｉＯ３（００１）的择优取向程度，从而为制备衬底温度的优这提供了依据。

Abstract:

The preparation technology and thermal treatment PT thin film used in infrareddetector and photo-electron devices are studied. The er thin film prepared by multi-ion-beam reac-tive co-sputtering apparams are analysised by x-ray , XPS and EPMA. The impurity of PbO,Pb2Ti2O6 in PT thin film is eleminated and PbTiO3 (001)preferred orientation is improved. The rea-sonable teperature of substrates is given in this paper.

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引用本文

孙晓松,孙晓楠.红外探测器PT薄膜的实验研究[J].土木与环境工程学报（中英文）,1994,16(3). Sun Xiaosong, Sun Xiaonan. TNE EXPERIMBNT RESEARCH OF PT THIN FILM USED IN INFRARED DETECTOR[J]. JOURNAL OF CIVIL AND ENVIRONMENTAL ENGINEERING,1994,16(3).10.11835/j. issn.1674-4764.1994.03.002

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