本文介绍一种检测光学平面度和薄膜厚度的新方法。采用单缝作等间距位移,三次曝光分别记录有位相调制(F_0缝)和无位相调制(F_1和F_2缝)的三缝频谱全息图,以细光束照明全息图的夫琅贺夫衍射谱第一级序,可重现三缝干涉图。此装置简单,分辨率达到1/400波长(λ/400)量级。
程堂郭,王林渝,匡实.一种弱位相差新的检测法——三缝全息干涉装置[J].重庆大学学报,1988,11(1).
