+高级检索
首页 > 过刊浏览>1994年第17卷第6期 >89-93
PDF HTML阅读 XML下载 导出引用 引用提醒
高密度计量圆光栅的研制
DOI:
CSTR:
[cstr]
作者:
作者单位:

作者简介:

通讯作者:

中图分类号:

TH741.6

基金项目:

国家自然科学基金


A Development of The High Density Metrological Radial Grating
Author:
Affiliation:

Fund Project:

  • 摘要
    • |
  • 图/表
    • |
  • 访问统计
    • |
  • 参考文献
    • |
  • 相似文献
    • |
  • 引证文献
    • |
  • 资源附件
    • |
  • 文章评论
    摘要:

    在高精度圆刻线机上，采用了新的高精度主轴转速数字锁相自调系统，设计了一种新型柱 面“蜂窝”透镜光刻系统。研制出刻划中径≤５０ｍｍ，刻线数为３２７６８线对的高密度计量圆光栅，最大直径误差≤０．６″，均匀性误差在５％以内。

    Abstract:

    参考文献
    相似文献
    引证文献
引用本文

喻洪麟.高密度计量圆光栅的研制[J].重庆大学学报,1994,17(6):89-93.

复制
分享
文章指标
  • 点击次数:
  • 下载次数:
  • HTML阅读次数:
  • 引用次数:
历史
  • 收稿日期:
  • 最后修改日期:
  • 录用日期:
  • 在线发布日期:
  • 出版日期:
文章二维码
您是第 位访问者
主管单位：中华人民共和国教育部
主办单位：重庆大学
地址：重庆市沙坪坝正街174号
电话：
重庆大学学报 ® 2024 版权所有