+高级检索
首页 > 过刊浏览>2005年第28卷第4期 >106-109. DOI:10.11835/j.issn.1000-582X.2005.04.027
PDF HTML阅读 XML下载 导出引用 引用提醒
Mo2C膜脱附激活能随沉积温度的变化规律
CSTR:
[cstr]
作者:
作者单位:

作者简介:

通讯作者:

中图分类号:

O484.1 O484.4

基金项目:

国家自然科学基金


Discussion on Variation of Activation Energy on Deposition
Author:
Affiliation:

Fund Project:

  • 摘要
    • |
  • 图/表
    • |
  • 访问统计
    • |
  • 参考文献
    • |
  • 相似文献
    • |
  • 引证文献
    • |
  • 资源附件
    • |
  • 文章评论
    摘要:

    介绍了用金属有机气相沉积(MOCVD)制备Mo2C膜的过程和对膜的颗粒粒径的测量结果,建立物理模型,导出粒子脱附激活能的计算公式,探讨了Mo2C膜的脱附激活能随沉积温度的变化.结果表明:沉积温度低于380 ℃时,Mo2C膜的脱附激活能随温度升高而增大较快;而高于380 ℃时,激活能随温度升高而增大的速度变小.

    Abstract:

    参考文献
    相似文献
    引证文献
引用本文

郑瑞伦,张浩波. Mo2C膜脱附激活能随沉积温度的变化规律[J].重庆大学学报,2005,28(4):106-109.

复制
分享
文章指标
  • 点击次数:
  • 下载次数:
  • HTML阅读次数:
  • 引用次数:
历史
  • 收稿日期:
  • 最后修改日期:2004-11-02
  • 录用日期:
  • 在线发布日期:
  • 出版日期:
文章二维码
您是第 位访问者
主管单位：中华人民共和国教育部
主办单位：重庆大学
地址：重庆市沙坪坝正街174号
电话：
重庆大学学报 ® 2024 版权所有