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高密度计量圆光栅的研制
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TH741.6

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国家自然科学基金


A Development of The High Density Metrological Radial Grating
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    在高精度圆刻线机上，采用了新的高精度主轴转速数字锁相自调系统，设计了一种新型柱 面“蜂窝”透镜光刻系统。研制出刻划中径≤５０ｍｍ，刻线数为３２７６８线对的高密度计量圆光栅，最大直径误差≤０．６″，均匀性误差在５％以内。

    Abstract:

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引用本文

喻洪麟.高密度计量圆光栅的研制[J].重庆大学学报,1994,17(6):89-93.

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