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首页 > 过刊浏览>2005年第28卷第4期 >106-109. DOI:10.11835/j.issn.1000-582X.2005.04.027
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Mo2C膜脱附激活能随沉积温度的变化规律
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中图分类号:

O484.1 O484.4

基金项目:

国家自然科学基金


Discussion on Variation of Activation Energy on Deposition
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    摘要:

    介绍了用金属有机气相沉积(MOCVD)制备Mo2C膜的过程和对膜的颗粒粒径的测量结果,建立物理模型,导出粒子脱附激活能的计算公式,探讨了Mo2C膜的脱附激活能随沉积温度的变化.结果表明:沉积温度低于380 ℃时,Mo2C膜的脱附激活能随温度升高而增大较快;而高于380 ℃时,激活能随温度升高而增大的速度变小.

    Abstract:

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引用本文

郑瑞伦,张浩波. Mo2C膜脱附激活能随沉积温度的变化规律[J].重庆大学学报,2005,28(4):106-109.

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  • 最后修改日期:2004-11-02
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